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氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)
更新時(shí)間:2018-01-24 點(diǎn)擊次數(shù):2675
   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
  氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展:
  經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
  集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
  (1)便攜式:zui近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
 ?。?)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
  (3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。
 ?。?)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
 ?。?)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
  氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí)
  (1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);
 ?。?)電磁閥組的超聲清洗;
 ?。?)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。
  氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒*技術(shù),整機(jī)設(shè)置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應(yīng)快,開(kāi)機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效果達(dá)到*水平。

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