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氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點集中體現(xiàn)在這4個方面
更新時間:2020-12-10 點擊次數(shù):1536
   氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。
  氦質(zhì)譜檢漏儀中沒有手動閥,現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵, 以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應(yīng)用。運轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。
  檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到軍工、航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。檢漏儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。
  氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點集中體現(xiàn)在以下幾個方面:
 ?。?)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
 ?。?)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
 ?。?)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
 ?。?)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
  為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如可通過采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
  氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。

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